Mikrostrukturtechnik

Der Bereich Mikrostrukturtechnik im RIF e.V. unter der Leitung von Prof. Dr. Andreas Neyer befasst sich mit der Forschung und Entwicklung von Technologien zur Erstellung von Mikrostrukturen in Kunststoff. Der Bereich nimmt eine internationale Spitzenstellung auf dem Gebiet der anwendungsnahen Mikrostrukturtechnik ein. Alle Forschungsarbeiten werden mit Drittmitteln gefördert und haben einen engen Industriebezug.

Ein zentraler Arbeitsschwerpunkt ist die Forschung und Entwicklung von Polymerlichtwellenleitern, die für Anwendungen in der optischen Telekommunikation und die optische Verbindungstechnik in Computern eine bedeutende Rolle spielen. Die Technologien, die für die Lichtwellenleitertechnik entwickelt worden sind, werden zunehmend auch für die Mikroanalytik in der Chemie- und Bio-Gen-Technologie eingesetzt. Im Bereich Mikrostrukturtechnik können für die unterschiedlichsten Anwendungen Urformen hergestellt und kostengünstig per Spritzguß oder Heißprägung abgeformt werden. Zudem können die hergestellten Komponenten über verschiedene optische Messverfahren geprüft werden.

Da die komplette Technologielinie am Standort verfügbar ist, lassen sich hier Fertigungsabläufe kontinuierlich bis zur Praxistauglichkeit für die Serienfertigung entwickeln. Zu den technischen Einrichtungen, die am Bereich Mikrostrukturtechnik für Forschungsaufgaben genutzt werden können, zählen unter anderem:

  • Photolithographie
  • Silizium-Mikrostrukturierung
  • Mikrogalvanik
  • Abformtechniken in Kunststoff
  • Dünnschichtmetallisierungen
  • Bond- und Klebetechniken
  • Mechanische Bearbeitung
  • Oberflächenmesstechnik
  • Optische Messtechnik

Unsere Themen im Überblick:

Mikrostruktur-Formenbau

  • Maskendesign für Maskengrößen bis zu 16“x16“ (40cm x 40cm)
  • Photolithographiearbeiten in Dünn- und Dicklack (bis zu 100µm Strukturhöhe)
  • Galvanische Abformung in Nickel bis zu Größen von 20cm x 20cm

Lichtwellenleiter in Polymeren

Computerplatine mit integrierter lichtleitender Schicht
Computerplatine mit integrierter lichtleitender Schicht
  • Design der Lichtwellenleiterstruktur
  • Numerische Simulation der Funktion
  • Herstellung von Formwerkzeugen
  • Abformung der Lichtwellenleiterstruktur in polymere Werkstoffe
    durch Gießen und Heißprägen
  • Optische Charakterisierung der hergestellten Lichtwellenleiter

Lab-on-Chip Systeme

Lab-on-Chip für komplexe Flüssigkeitsanalyse mit elektrischer Auswertung
Lab-on-Chip für komplexe Flüssigkeitsanalyse mit elektrischer Auswertung
  • Design der Mikrofluidikstruktur
  • Herstellung von Formwerkzeugen
  • Abformung der Mikrofluidikstrukturen in polymere Werkstoffe 
    durch Gießen und Heißprägen
  • Aufbringen von Elektrodenstrukturen auf den Chip
  • Anbringen von Fluidikanschlüssen
  • Verbinden von Mikrofluidikstruktur mit einem Deckel (Bonden)
Mikroanalysechip nach dem Prinzip der Kapillarelektrophorese (CE) mit optischer Auswertung durch integrierte Lichtwellenleiter.
4 Beispiele für in Mikroanalysechip integrierte Lichtleiter und Mikrolinsensysteme zur Optimierung der optischen Auswertung.
Mikroanalysechip nach dem Prinzip der Kapillarelektrophorese (CE) mit optischer Auswertung durch integrierte Lichtwellenleiter. 4 Beispiele für in Mikroanalysechip integrierte Lichtleiter und Mikrolinsensysteme zur Optimierung der optischen Auswertung.